Tshuab Lithography Tshuab Npog Ncauj Aligner Tshuab Duab-Etching
Kev taw qhia txog khoom
Lub teeb pom kev zoo siv cov khoom siv UV LED thiab lub teeb pom kev zoo, nrog cua sov me me thiab kev ruaj khov ntawm lub teeb.
Cov qauv teeb pom kev zoo tig rov qab muaj cov cua sov zoo thiab cov teeb pom kev zoo kaw, thiab kev hloov thiab kev saib xyuas lub teeb mercury yooj yim thiab yooj yim. Nruab nrog lub tshuab microscope binocular dual field loj thiab 21 nti LCD npo dav, nws tuaj yeem pom kev sib phim los ntawm
eyepiece lossis CCD + zaub, nrog kev sib dhos siab, cov txheej txheem intuitive thiab kev ua haujlwm yooj yim.
Cov yam ntxwv
Nrog rau kev ua cov khoom seem
Kev sib txuas lus siab ua kom muaj kev rov ua dua los ntawm lub sensor
Qhov sib txawv ntawm qhov sib dhos thiab qhov sib txawv ntawm qhov raug teeb tsa tuaj yeem teeb tsa digitally
Siv lub khoos phis tawj embedded + kov screen ua haujlwm, yooj yim thiab yooj yim, zoo nkauj thiab dav
Rub hom nce thiab nqis phaj, yooj yim thiab yooj yim
Txhawb kev sib cuag nrog lub tshuab nqus tsev, kev sib cuag nyuaj, kev sib cuag siab thiab kev sib thooj
Nrog nano imprint interface muaj nuj nqi
Ib txheej kev raug nrog ib tus yuam sij, qib siab ntawm kev ua haujlwm tsis siv neeg
Lub tshuab no muaj kev ntseeg siab zoo thiab yooj yim ua qauv qhia, tshwj xeeb tshaj yog rau kev qhia ntawv, kev tshawb fawb thiab cov chaw tsim khoom hauv Tsev Kawm Qib Siab thiab tsev kawm qib siab
Xav paub ntxiv
Cov Lus Qhia Tshwj Xeeb
1. Thaj chaw raug: 110mm × 110mm;
2. ★ Qhov ntev ntawm lub teeb ci: 365nm;
3. Kev daws teeb meem: ≤ 1m;
4. Kev sib dhos raug: 0.8m;
5. Qhov ntau ntawm kev txav mus los ntawm lub rooj luam theej ntawm lub kaw lus sib dhos yuav tsum tsawg kawg yog ntsib: Y: 10mm;
6. Cov raj teeb sab laug thiab sab xis ntawm lub kaw lus sib dhos tuaj yeem txav mus rau lwm qhov hauv X, y thiab Z cov lus qhia, X cov lus qhia: ± 5mm, Y cov lus qhia: ± 5mm thiab Z cov lus qhia: ± 5mm;
7. Qhov loj ntawm lub npog ntsej muag: 2.5 nti, 3 nti, 4 nti, 5 nti;
8. Qhov loj ntawm cov qauv: daim, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Haum rau cov qauv tuab: 0.5-6 hli, thiab tuaj yeem txhawb nqa 20 hli cov qauv ntawm qhov siab tshaj plaws (kho kom haum);
10. Hom kev raug: lub sijhawm (hom suav rov qab);
11. Tsis sib xws ntawm lub teeb pom kev zoo: <2.5%;
12. Lub tshuab microscope CCD sib dhos ob sab: lub lens zoom (1-5 zaug) + lub lens tsom iav microscope;
13. Qhov txav ntawm lub npog ntsej muag piv rau cov qauv yuav tsum tsawg kawg yog ntsib: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º;
14. ★ Kev siv zog ceev: > 30MW / cm2,
15. ★ Qhov chaw sib dhos thiab qhov chaw raug teeb tsa ua haujlwm hauv ob lub chaw nres tsheb, thiab ob lub tshuab servo hloov pauv tau;
16. Kev sib txuas lus siab ua kom rov ua dua los ntawm lub sensor;
17. ★ Qhov sib txawv ntawm qhov sib dhos thiab qhov sib txawv ntawm qhov raug teeb tsa tuaj yeem teeb tsa digitally;
18. ★ Nws muaj nano imprint interface thiab proximity interface;
19. ★ Kov npo ua haujlwm;
20. Qhov ntev tag nrho: Kwv yees li 1400mm (ntev) 900mm (dav) 1500mm (qhov siab).
